精密過渡選択的レーザ吸収と高温領域の掃引によるガラスの微細高速溝加工法
精密過渡選択的レーザ吸収と高温領域の掃引によるガラスの微細高速溝加工法
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利用精密瞬态选择性激光吸收和高温区域扫描的玻璃微高速沟槽加工方法
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
杉田直彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
魏超然;吉﨑れいな;伊藤佑介;柴田章広;長澤郁夫;長藤圭介;杉田直彦