アニール処理スパッタAlN膜上AlGaN多重量子井戸構造の光学特性
アニール処理スパッタAlN膜上AlGaN多重量子井戸構造の光学特性
复制标题
退火溅射 AlN 薄膜上 AlGaN 多量子阱结构的光学特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
正直花奈子;石井良太;上杉謙次郎;船戸充;川上養一;三宅秀人
