Density evaluation of remotely-supplied hydrogen radicals produced via tungsten filament method for SiCl4 reduction
Density evaluation of remotely-supplied hydrogen radicals produced via tungsten filament method for SiCl4 reduction
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通过钨丝法进行 SiCl4 还原的远程供应氢自由基的密度评估
DOI：
10.7567/jjap.57.051301
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发表时间：
2018
影响因子：
1.5
通讯作者：
Masatomo Sumiya
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Fatima Zohra Dahmani;Yuji Okamoto;Daiki Tsutsumi;Takamasa Ishigaki;Hideomi Koinuma;Saad Hamzaoui;Samir Flazi;Masatomo Sumiya
