Microwave Annealing of Phosphorus Implanted p-type Silicon
Microwave Annealing of Phosphorus Implanted p-type Silicon
复制标题
磷注入 p 型硅的微波退火
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Sameshima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Hasumi;S. Yoshidomi;and T. Sameshima
