UV-ラマン分光法によるSiの高空間分解能ひずみ評価
UV-ラマン分光法によるSiの高空間分解能ひずみ評価
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使用紫外拉曼光谱对硅进行高空间分辨率应变评估
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小椋 厚志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yasutomo Segawa;Yuta Suzuki;Makoto Yamashita;Kyoko Nozaki;小椋 厚志
