アセチレンプラズマ中の重合イオン測定およびDLC膜硬度に与える影響
アセチレンプラズマ中の重合イオン測定およびDLC膜硬度に与える影響
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乙炔等离子体中聚合离子的测量及其对DLC膜硬度的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
作道訓之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中谷悦啓;孔祥燕;牧哲朗;林忠之;糸崎秀夫;作道訓之
