Catalytic Effect of Ni in Crystallization of Amorphous SiGe Films by Imprint Technique
Catalytic Effect of Ni in Crystallization of Amorphous SiGe Films by Imprint Technique
复制标题
Ni对压印非晶SiGe薄膜晶化的催化作用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and M. Miyao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Toko;H. Kanno;A. Kenjo;T. Sadoh;T. Asano;and M. Miyao
