溶胶凝胶法制备氧化硅薄膜裂纹形貌研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
陈炎兵
中科院分区：
文献类型：
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作者：
顾尔丹;魏琳琳;孙志刚;余海湖;陈炎兵
