Y.Onuma,H.Seki,K.Kamimura,T.Homma and C.H.Yi.: "Piezoresistive Elements Using Polycrystalline Silicon Carbide Films" Technical Digest of the 8th Sensor Symposium. Proceedings. 41-44 (1989)

Y.Onuma,H.Seki,K.Kamimura,T.Homma and C.H.Yi.: "Piezoresistive Elements Using Polycrystalline Silicon Carbide Films" Technical Digest of the 8th Sensor Symposium. Proceedings. 41-44 (1989)
复制标题

Y.Onuma、H.Seki、K.Kamimura、T.Homma 和 C.H.Yi.:“使用多晶碳化硅薄膜的压阻元件”第八届传感器研讨会技术摘要。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献