古畑、平野、Gabriel、藤田: "サブミクロンギャップを有する 櫛形静電マイクロアクチュエータ" 電気学会論文誌A. 112. 999-1006 (1992)
古畑、平野、Gabriel、藤田: "サブミクロンギャップを有する 櫛形静電マイクロアクチュエータ" 電気学会論文誌A. 112. 999-1006 (1992)
复制标题
Furuhata、Hirano、Gabriel、Fujita：“具有亚微米间隙的梳状静电微致动器”IEEJ Transactions A. 112. 999-1006 (1992)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
