Effect of microwave radiation on the properties of Ta2O5-Si microstructures

Effect of microwave radiation on the properties of Ta2O5-Si microstructures
复制标题

DOI:
10.1016/j.microrel.2004.04.018
复制
发表时间:
2005
期刊:
Microelectron. Reliab.
影响因子:
--
通讯作者:
E. Atanassova;R. Konakova;V. F. Mitin;J. Koprinarova;O. S. Lytvym;O. B. Okhrimenko;V. V. Schinkarenko-V.;D. Virovska
E. Atanassova;R. Konakova;V. F. Mitin;J. Koprinarova;O. S. Lytvym;O. B. Okhrimenko;V. V. Schinkarenko-V.;D. Virovska
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
E. Atanassova;R. Konakova;V. F. Mitin;J. Koprinarova;O. S. Lytvym;O. B. Okhrimenko;V. V. Schinkarenko-V.;D. Virovska

文献摘要

被引文献

相似文献