Harutaka Mekaru, Yuichi Utsumi, Tadashi Hattori: "Quasi-3D microstructure fabrication technique utilizing hard X-ray lithography of synchrotron radiation"Microsystem Technologies. No.9. 36-40 (2002)
Harutaka Mekaru, Yuichi Utsumi, Tadashi Hattori: "Quasi-3D microstructure fabrication technique utilizing hard X-ray lithography of synchrotron radiation"Microsystem Technologies. No.9. 36-40 (2002)
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Harutaka Mekaru、Yuichi Utsumi、Tadashi Hattori：“利用同步辐射硬 X 射线光刻的准 3D 微结构制造技术”Microsystem Technologies。
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