T.Kanda,T.Morita,M.K.Kurosawa,and T.Higuchi: "A flat type touch probe sensor using PZT thin film vibrator"Sensors and Actuators A. vol.83. 67-75 (2000)
T.Kanda,T.Morita,M.K.Kurosawa,and T.Higuchi: "A flat type touch probe sensor using PZT thin film vibrator"Sensors and Actuators A. vol.83. 67-75 (2000)
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T.Kanda、T.Morita、M.K.Kurosawa 和 T.Higuchi：“使用 PZT 薄膜振动器的平面型接触式探针传感器”Sensors and Actuators A. vol.83。
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