AlGaN発光に対する水蒸気プラズマ処理効果
AlGaN発光に対する水蒸気プラズマ処理効果
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水蒸气等离子体处理对AlGaN发光的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山下善文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松田洋平;上浦洋一;石山武;山下善文
