電界制御板構造が斜め方向のプラズマエッチングに与える影響の検討
電界制御板構造が斜め方向のプラズマエッチングに与える影響の検討
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电场控制板结构对斜向等离子刻蚀影响的检验
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
北野圭輔，石崎賢司，野田進
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Ishizaki ;M. Koumura;K. Suzuki;K. Gondaira;and S. Noda;高瀬陽彦;小谷拓也,大西孝,大橋一仁,坂倉守昭,塚本真也;金景洙;北野圭輔，石崎賢司，野田進
