スパッタリング条件がＳｎ薄膜構造に与える影響に関する研究
スパッタリング条件がＳｎ薄膜構造に与える影響に関する研究
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溅射条件对Sn薄膜结构影响的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂 真澄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松浦 稜;李 渊;坂 真澄
