Influence of laser power on atom probe tomographic analysis of boron distribution in silicon
Influence of laser power on atom probe tomographic analysis of boron distribution in silicon
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激光功率对硅中硼分布原子探针断层分析的影响
DOI：
10.1016/j.ultramic.2016.11.023
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
2.2
通讯作者：
Y. Nagai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Tu;H. Takamizawa;B. Han;Y. Shimizu;K. Inoue;T. Toyama;F. Yano;A. Nishida;Y. Nagai
