A sputtering deposition of Al enhances the output reproducibility in a conducting tubber force sensor
A sputtering deposition of Al enhances the output reproducibility in a conducting tubber force sensor
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铝的溅射沉积增强了导电管力传感器的输出再现性
DOI：
10.4236/jst.2016.63004
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasushi Kami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masato Ohmukai;Yasushi Kami
