シリコンの化学エッチングに対する炭素系触媒の影響
シリコンの化学エッチングに対する炭素系触媒の影響
复制标题
碳基催化剂对硅化学刻蚀的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
関戸大智，川澄諒，橋本英樹，阿相英孝
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
T. Uemori;T. Naka;N. Tada;H. Yoshimura;T. Katahira;F. Yoshida;関戸大智，川澄諒，橋本英樹，阿相英孝
