Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro raman spectroscopy
Local stress analysis of single crystalline silicon resonator using micro raman spectroscopy
复制标题
使用显微拉曼光谱分析单晶硅谐振器的局部应力
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Taniyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takada;A.;A.Taniyama
