低温制备防潮耐真空污染二氧化硅减反膜

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DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
低温物理学报
影响因子:
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通讯作者:
沈军
沈军
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
姚兰芳;王晓栋;田冰涛;沈军

文献摘要

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