Methyl-methacrylate based aluminum hybrid film grown via three-precursor molecular layer deposition
Methyl-methacrylate based aluminum hybrid film grown via three-precursor molecular layer deposition
复制标题
通过三前体分子层沉积生长的甲基丙烯酸甲酯基铝杂化薄膜
DOI：
10.1116/6.0001505
复制
发表时间：
2022
影响因子：
2.9
通讯作者：
Bent, Stacey F.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Oyakhire, Solomon T.;Ablat, Hayrensa;Richey, Nathaniel E.;Bent, Stacey F.
