Influence of substrate bias voltage and properties of hydrogenated diamond-like corbon films deposited by Pseudo-spark discharge PECVD
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基体偏压对赝火花放电PECVD沉积氢化类金刚石薄膜性能的影响
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and S. Mukaigawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kamada;M. Watanabe;Y. Nakamura;and S. Mukaigawa
