高周波スパッタ析出したFe70Co30-Al窒化物のポストアニール薄膜における構造と電磁気的性質

高周波スパッタ析出したFe70Co30-Al窒化物のポストアニール薄膜における構造と電磁気的性質
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射频溅射沉积Fe70Co30-Al氮化物退火后薄膜的结构和电磁性能

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉川信一
吉川信一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
広川祐樹;鱒渕友治;本橋輝樹;吉川信一

文献摘要

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