Masaharu Shiratani: "DENSITY DISTIBUTION AND PRODUCTION OF RADICALS IN MODULATED RF SiH_4/He DISCHARGES" Proc.3rd Jpn.Symp.Plasma Chem.3. (1990)
Masaharu Shiratani: "DENSITY DISTIBUTION AND PRODUCTION OF RADICALS IN MODULATED RF SiH_4/He DISCHARGES" Proc.3rd Jpn.Symp.Plasma Chem.3. (1990)
复制标题
Masaharu Shiratani：“调制 RF SiH_4/He 放电中自由基的密度分布和产生”Proc.3rd Jpn.Symp.Plasma Chem.3。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
