Fabrication of polycrystalline Si wafer by vacuum casting and the effect of mold coating materials
Fabrication of polycrystalline Si wafer by vacuum casting and the effect of mold coating materials
复制标题
真空铸造多晶硅片的制作及模具涂层材料的影响
DOI：
10.1016/s0022-0248(01)01516-0
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发表时间：
2001
影响因子：
1.8
通讯作者：
Z. Lee
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Geunhee Lee;Z. Lee
