H.Sugai: "In situ deposition of boron layer by electron cyclotron resonance discharges for wall conditioning" The XXII International Conference on Phenomena in Ionized Gas. (1995)
H.Sugai: "In situ deposition of boron layer by electron cyclotron resonance discharges for wall conditioning" The XXII International Conference on Phenomena in Ionized Gas. (1995)
复制标题
H.Sugai：“通过电子回旋共振放电进行硼层原位沉积以进行壁调节”第二十二届电离气体现象国际会议。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
