イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討
イオンビーム援用BN薄膜の作製と内部応力発生機構の検討
复制标题
离子束辅助BN薄膜的制备及内应力产生机制研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田 仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
花木 聡;冷 波;山下 正人;内田 仁
