Selective Growth of Rutile and Anatase TiO_2 Films on MgO substrate Using TiN Buffer Layer in Reactive Sputtering
Selective Growth of Rutile and Anatase TiO_2 Films on MgO substrate Using TiN Buffer Layer in Reactive Sputtering
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反应溅射中TiN缓冲层在MgO基底上选择性生长金红石和锐钛矿TiO_2薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Jun Takayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Koike;T.Sakamoto;H.Kobori;H.Matsuura;H.Akatsuka;H.Akatsuka;Jun Takayama
