3次元ナノサーフェス物性評価のためのナノインデンテーション装置

3次元ナノサーフェス物性評価のためのナノインデンテーション装置
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用于评估3D纳米表面物理性质的纳米压痕装置

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
小野崇人
小野崇人
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
元木健順;高偉;清野慧;小野崇人

文献摘要

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