Yasunobu Akiyama: "Occlusion of microsize trench and hole by thin film grown via CVD-3-dimensional Monte Carlo Simulation-" Proc.Thermal Engineering Joint Conf.1995. 2. 447-452 (1995)
Yasunobu Akiyama: "Occlusion of microsize trench and hole by thin film grown via CVD-3-dimensional Monte Carlo Simulation-" Proc.Thermal Engineering Joint Conf.1995. 2. 447-452 (1995)
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Yasunobu Akiyama：“通过CVD-3维蒙特卡罗模拟生长的薄膜对微米尺寸沟槽和孔的遮挡-”Proc.Thermal Engineering Joint Conf.1995。
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