∂C/∂z-SNDM法による半導体ドーパント濃度測定に関する数値シミュレーション
∂C/∂z-SNDM法による半導体ドーパント濃度測定に関する数値シミュレーション
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使用∂C/∂z-SNDM方法测量半导体掺杂剂浓度的数值模拟
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平永 良臣，長 康雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
青山 哲也;余 健;村中 厚哉;石飛 昌光;梅澤 洋史;松本 真哉;内山 真伸;山形 豊;田中 利彦;前川雅樹;福島鉄也;平永 良臣，長 康雄
