Compositional changes during magnetron sputtering of alloys
Compositional changes during magnetron sputtering of alloys
复制标题
合金磁控溅射过程中的成分变化
DOI：
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发表时间：
1991
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Cuomo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Rossnagel;I. Yang;J. Cuomo
