Fabrication of high-Q Ta2O5 microresonator
Fabrication of high-Q Ta2O5 microresonator
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高Q值Ta2O5微谐振器的制作
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Naoya Kuse
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Kitora;Mayu Funakoshi;Kenji Nishimoto;Takeshi Yasui;Kaoru Minoshima;and Naoya Kuse
