高温アニールした微傾斜サファイア基板上スパッタ成膜AlNテンプレートに成長されたAlGaN多重量子井戸内部量子効率評価
高温アニールした微傾斜サファイア基板上スパッタ成膜AlNテンプレートに成長されたAlGaN多重量子井戸内部量子効率評価
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高温退火微倾斜蓝宝石衬底上溅射沉积 AlN 模板上生长的 AlGaN 多量子阱的内量子效率评估
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三宅秀人,山田陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
押村遼太;藤井厚志;中谷文哉;倉井聡;室谷英彰;上杉謙次郎;三宅秀人,山田陽一
