水素ガス熱処理が(Al,Sc)N薄膜の強誘電特性へ及ぼす影響
水素ガス熱処理が(Al,Sc)N薄膜の強誘電特性へ及ぼす影響
复制标题
氢气热处理对(Al,Sc)N薄膜铁电性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
恒川孝二
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
岡本一輝;安岡慎之介;大田怜佳;舟窪浩;松井尚子;入澤寿和;恒川孝二
