L.Asinovsky, M.Broomfield, F.Shen, A.Smith, T.Yamaguchi: "Characterization of the Optical properties of PECVD SiNx films using ellipsometry and reflectometry" Thin Solid Films. 313/314. 198-204 (1998)
L.Asinovsky, M.Broomfield, F.Shen, A.Smith, T.Yamaguchi: "Characterization of the Optical properties of PECVD SiNx films using ellipsometry and reflectometry" Thin Solid Films. 313/314. 198-204 (1998)
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L.Asinovsky、M.Broomfield、F.Shen、A.Smith、T.Yamaguchi：“使用椭圆光度法和反射法表征 PECVD SiNx 薄膜的光学特性”固体薄膜。
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