フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発
フォトリソグラフィ技術を用いた微細毛構造による双極型静電チャックの開発
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利用光刻技术开发细毛结构双极静电吸盘
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田尻 陽亮,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Radon Dhelika;Kenji Sawai;Kunio Takahashi;Wataru Takarada;Takeshi Kikutani;and Shigeki Saito;河野 健人， ヘムタビー パソムポーン，高橋 邦夫， 齊藤 滋規;崔 勝萬，河野 健人，ヘムタビー パゾムポーン，高橋 邦夫，齋藤 滋規;田尻 陽亮,ヘムタビー パゾムポーン,高橋 邦夫,齋藤 滋規
