Interface-engineered EUV multilayer mirrors
Interface-engineered EUV multilayer mirrors
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接口设计的 EUV 多层反射镜
DOI：
10.1016/j.mee.2006.01.126
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Kaiser
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yulin;N. Benoit;T. Feigl;N. Kaiser
