薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作

薄膜ミラーの変形を利用した光スイッチの原理と試作
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利用薄膜镜变形的光开关原理与原型

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
[No.04-1]日本機械学会2004年度年次大会講演論文集 Vol.7
影响因子:
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通讯作者:
佐藤海二
佐藤海二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
萩原利宣;枝長孝幸;佐藤海二

文献摘要

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