Elimination of Oxygen Defect in In-Si-O Film and Thin Film Transistor Performance
Elimination of Oxygen Defect in In-Si-O Film and Thin Film Transistor Performance
复制标题
In-Si-O薄膜中氧缺陷的消除及薄膜晶体管性能
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
E. K. Palupi and A. Fujiwara
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ajendra Kumar VATS;Gaurav KAPIL;Shuzi HAYASE;Shyam S. PANDEY;秦涼佑，金澤有紘，青島貞人;E. K. Palupi and A. Fujiwara
