服部健雄: "西沢潤一編 半導体研究 30「超LSI技術13 デバイスとプロセス その3」第3章 薄いシリコン酸化膜とその界面の構造" (財)半導体研究振興会, (1989)
服部健雄: "西沢潤一編 半導体研究 30「超LSI技術13 デバイスとプロセス その3」第3章 薄いシリコン酸化膜とその界面の構造" (財)半導体研究振興会, (1989)
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服部武夫：“西泽淳一编。半导体研究 30“非常 LSI 技术 13 器件和工艺第 3 部分”第 3 章薄氧化硅膜及其界面的结构”半导体研究基金会，（1989 年）
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