利用透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量研究
利用透射式激光空气隙干涉的纳米分辨率精密位移测量研究
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DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
林强
中科院分区：
文献类型：
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作者：
王子轩;冀聪;王晶;杨钢;王肖隆;林强
