An absolute surface encoder with a femtosecond laser and a planar scale grating of variable periods
An absolute surface encoder with a femtosecond laser and a planar scale grating of variable periods
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带有飞秒激光器和可变周期平面光栅的绝对表面编码器
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoru Maehara;Ryo Sato;Hiraku Matsukuma;Yuki Shimizu;Wei Gao
