白瀬英明,大竹尚登,加藤和典: "γfマグネトロンスパッタ法によるB-C-N系薄膜の合成"第8回機械材料・材料加工技術講演会論文集. No.00-36. 45-46 (2000)

白瀬英明,大竹尚登,加藤和典: "γfマグネトロンスパッタ法によるB-C-N系薄膜の合成"第8回機械材料・材料加工技術講演会論文集. No.00-36. 45-46 (2000)
复制标题

Hideaki Shirase、Naoto Otake、Kazunori Kato:“γf磁控溅射合成B-C-N薄膜”第八届机械材料与材料加工技术会议论文集No.00-36(2000)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献