K.Kishimoto, Y.Nagamoto, K.Nagao, T.Miki, T.Koyanagi and K.Matsubara: "Microstructure control of FeSi_2 ceramics by rf-plasma processing in SiH_4 and GeH_4" AIP Conference Proc.316. 123-126 (1995)

K.Kishimoto, Y.Nagamoto, K.Nagao, T.Miki, T.Koyanagi and K.Matsubara: "Microstructure control of FeSi_2 ceramics by rf-plasma processing in SiH_4 and GeH_4" AIP Conference Proc.316. 123-126 (1995)
复制标题

K.Kishimoto、Y.Nagamoto、K.Nagao、T.Miki、T.Koyanagi 和 K.Matsubara:“SiH_4 和 GeH_4 中射频等离子体处理对 FeSi_2 陶瓷的微观结构控制”AIP 会议 Proc.316。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献