Subsurface Damaged Layer Reduction with Atomic Force Microscope Scratch Nano Machinig on Optical fiber End Plane
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复制标题
光纤端面原子力显微镜划痕纳米加工减少次表面损伤层
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Matsui;S. Umemura;T. Sato
