FM-AFM/KFM/SCFMによるSiC製プレーナ型パワーMOSFETのナノスケール観測
FM-AFM/KFM/SCFMによるSiC製プレーナ型パワーMOSFETのナノスケール観測
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使用 FM-AFM/KFM/SCFM 对 SiC 平面功率 MOSFET 进行纳米级观察
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
増田 匠，土井敦史，山本秀和，佐藤宣夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kosaba Takumi;Muto Izumi;Nishimoto Masashi;Sugawara Yu;増田 匠，土井敦史，山本秀和，佐藤宣夫
