単結晶(Al,Sc)N薄膜の合成と強誘電体特性評価
単結晶(Al,Sc)N薄膜の合成と強誘電体特性評価
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单晶(Al,Sc)N薄膜的合成及铁电性能评价
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大橋 直樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長谷川 浩太;清水 荘雄;大澤 健男;坂口 勲;大橋 直樹
