Towards Quasi-real-time, Tip-based Process Control in Roll-to-Roll Nanomanufacturing

Towards Quasi-real-time, Tip-based Process Control in Roll-to-Roll Nanomanufacturing
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实现卷对卷纳米制造中的准实时、基于尖端的过程控制

DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication​
影响因子:
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通讯作者:
Cullinan, Michael
Cullinan, Michael
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Connolly, Liam;Groh, Barbara;Cullinan, Michael

文献摘要

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